【摘 要】
：
MEMS加速度计是动作识别设备、姿态控制设备等电子设备的核心器件,其功能失效会严重影响设备的可靠性。而目前国内外还没有MEMS器件的可靠性实验标准,这在一定程度上制约了ME
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第十三研究所,
论文部分内容阅读
MEMS加速度计是动作识别设备、姿态控制设备等电子设备的核心器件,其功能失效会严重影响设备的可靠性。而目前国内外还没有MEMS器件的可靠性实验标准,这在一定程度上制约了MEMS加速度计的应用与发展。针对该现状,深入研究了MEMS加速度计敏感部件的失效模式及失效机理,得到了典型环境应力与器件失效的关系,分析了加载环境应力可能导致器件失效的环境实验,并选取了相应的MEMS加速度计产品进行了可靠性实验验证,得出了MEMS加速度计可靠性评价的初步试行方案。
其他文献
本文以一株产RGD-TRAIL的重组大肠杆菌为研究对象,在10L发酵罐中考查了诱导温度、pH值、溶氧、流加葡萄糖对重组大肠杆菌生长和RGD-TRAIL蛋白表达的影响。结果表明：诱导温度25
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
根据青岛某高校既有集中浴室存在的问题,从减少投资、节能环保、节约空间、方便学生、消除安全隐患等存在的问题出发,经科学论证和分析,提出了一套科学合理的解决方案:利用BO
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
文章一方面对以往自闭症谱系障碍儿童思维发展的灵活性、思维模式、未来情境思维发展等方面的研究进行简单归纳;另一方面,又从自闭症谱系儿童思维训练的角度出发对早期干预、