【摘 要】
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所研制的平面型SnO_2微型传感器是用射频溅射制备超微粒SnO_2膜,和常规的硅平面工艺制作加热器和温度检测器,二者相容集成而制作的气敏器件。用AES、ESCA对SnO_2膜进行了分
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,
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所研制的平面型SnO_2微型传感器是用射频溅射制备超微粒SnO_2膜,和常规的硅平面工艺制作加热器和温度检测器,二者相容集成而制作的气敏器件。用AES、ESCA对SnO_2膜进行了分析,结果表明膜中并没有分离的Sn的成分。利用SnO_2膜接触不同气体表面电导会发生变化的特点,对器件进行了气敏特性测试分析。结果表明:SnO_2膜和Pd/SnO_2膜在200℃～300℃工作温度下对CH_4、CO、H_2、NO_2和H_2S等气体均有明显的敏感特性。当SnO_2膜表面掺入几十埃的Pd后,对上述气体
The developed planar SnO 2 miniature sensor is a gas sensing device fabricated by radio frequency sputtering for the preparation of ultrafine SnO 2 film and conventional silicon planar process heater and temperature detector. The SnO 2 films were analyzed by AES and ESCA. The results showed that Sn did not separate in the films. The characteristics of gas conductivity of SnO_2 films exposed to different gases were analyzed. The results show that SnO_2 film and Pd / SnO_2 film have obvious sensitivity to CH_4, CO, H_2, NO_2, H_2S and other gases at the working temperature of 200 ℃ ~ 300 ℃. When the SnO 2 film surface incorporates a few tens of Pd, the above gas
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