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【摘 要】
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本发明涉及一种电弧型蒸发源，该蒸发源拥有基本上呈柱状的阴极，其轴向长度大于其直径；阴极供料装置，用于沿该阴极的轴向向该阴极供料；阴极冷却装置，用于以冷却剂冷却该阴极的至少一
【机 构】
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日新电机株式会社
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2006年4期
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