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本文主要介绍了新型的光学对准系统的双光路曝光系统，对两部分光学系统在设计，加工，装高中所考虑的问题以难点和解决途径分析作了详细的论述，并且给出了设计结果。
特种器件双面曝光机的光学系统
【摘 要】
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本文主要介绍了新型的光学对准系统的双光路曝光系统，对两部分光学系统在设计，加工，装高中所考虑的问题以难点和解决途径分析作了详细的论述，并且给出了设计结果。
【机 构】
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电子工业部第45研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1996年4期
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