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本文报道用Nd:YAG声光调Q激光修整厚膜铂热敏电阻的实验研究结果,分析了激光参数与电阻膜修整质量参数的关系,讨论了激光修整热敏电阻膜应注意的一些问题。
激光修整厚膜铂热敏电阻的研究
【摘 要】
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本文报道用Nd:YAG声光调Q激光修整厚膜铂热敏电阻的实验研究结果,分析了激光参数与电阻膜修整质量参数的关系,讨论了激光修整热敏电阻膜应注意的一些问题。
【机 构】
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ShanghaiInstofOpticsandFine
【出 处】
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中国激光
【发表日期】
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1992年12期
【基金项目】
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上海市科学技术发展基金资助
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