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【摘 要】
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An experimental investigation of the saturation ion current densities(Jions) in hydrogen inductively coupled plasma(ICP) produced by a large-power(2-32 kW) radi
【机 构】
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College of Physics and Information Engineering,Fuzhou University,Southwestern Institute of Physics,S
【出 处】
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Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2016年09期
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