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应用材料公司宣布其成功的Applied Reflexion GT CMP1系统工艺已经扩展．增加钨薄膜平坦化工艺。该CMPT艺对于制造先进的动态随机存储器（DRAM）、NAND闪存和逻辑器件的晶体管触点和通孔至关重要。依托经过验证的Reflexion GT双硅片架构，
应用材料公司推出钨平坦化技术助力先进芯片设计
【摘 要】
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应用材料公司宣布其成功的Applied Reflexion GT CMP1系统工艺已经扩展．增加钨薄膜平坦化工艺。该CMPT艺对于制造先进的动态随机存储器（DRAM）、NAND闪存和逻辑器件的晶体管触点
【出 处】
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电子与电脑
【发表日期】
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2011年7期
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