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本文较全面的概括了ZSX100e型x射线荧光光谱仪真空系统的故障,并分析了故障原因.根据仪器分光室、样品准备室的真空系统工作原理和交互过程,从真空泵使用及性能判断、分光室和样品准备室的密封部件、探测器工作气体气路、探测器窗膜、自动芯线清洗装置、气体密度稳定器等几个方面归纳出不同情况下仪器真空系统故障的诊断方法.