【摘 要】
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本文介绍了扩展电阻的基本概念,扩展电阻测量的原理、装置、操作及测量结果和讨论.本半自动化测量系统.对于ρ在~(-3)～几十欧姆·厘米的硅单晶,其测量精确度达10%之内.
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本文介绍了扩展电阻的基本概念,扩展电阻测量的原理、装置、操作及测量结果和讨论.本半自动化测量系统.对于ρ在~(-3)～几十欧姆·厘米的硅单晶,其测量精确度达10%之内.
This paper introduces the basic concept of extended resistance, extended resistance measurement principle, device, operation and measurement results and discussion of the semi-automatic measurement system.For ρ in ~ (-3) ~ dozens of ohm · cm of silicon single crystal, its Measurement accuracy within 10%.
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