高温热解聚硅烷制备SiC薄膜初探

来源 :广西师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lhl1208
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用组合成的可溶性聚硅烷1710A作涂膜材料,进行不同温度的真空热解或高纯氮下热解实验。通过IR谱和XPS谱分析,在790-810cm^-1和1270cm^-1红外吸收特征峰分别对应Si-CH3摇摆振动和伸缩振动吸收峰,XP-Si谱给出Si(2P)结合能力为101.6eV,CIS为284.3eV,证明有α-SiC:H生成。
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