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【摘 要】
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利用原子层沉积（ALD）方法在Si（100）片上沉积200nm的ZnO薄层作为籽晶层,通过化学气相沉积（CVD）法常压下在籽晶层上生长ZnO晶体结构。通过X射线衍射（XRD）、场发射电子扫描显微镜（FESEM）和
【机 构】
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长春理工大学理学院
【出 处】
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长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2013年3期
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