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本文概括介绍了超强流氧离子注入机的国内外现状及发展趋势，指出了国内在这一设备研制上的主要差距，对今后发展该设备提出自己的建议。
超强流氧离子注入机国内外现状及发展趋势
【摘 要】
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本文概括介绍了超强流氧离子注入机的国内外现状及发展趋势，指出了国内在这一设备研制上的主要差距，对今后发展该设备提出自己的建议。
【机 构】
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电子工业部第四十八研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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1994年02期
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