【摘 要】
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本文介绍利用视角系数法对我们所建造的相对比对真空校准系统内的分子流场的分析计算过程;研究了系统内气流分布状态和限流膜孔大小的关系;定量考察了非均匀因素造成的影响;
【机 构】
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兰州物理所,兰州物理所,兰州物理所
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本文介绍利用视角系数法对我们所建造的相对比对真空校准系统内的分子流场的分析计算过程;研究了系统内气流分布状态和限流膜孔大小的关系;定量考察了非均匀因素造成的影响;探讨了该系统作为精确真空规比对校准系统的条件。此外,还解决了两种特殊类型的视角系数的求解方法。
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