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在制造微电子机械系统(MEMS)的器件的过程中,通常要进行高温的薄膜淀积或生长,因此薄膜中存在的残余应力很多情况下影响着器件结构的特性,有时甚至严重劣化器件的性能.本文以实例具体分析了薄膜残余应力的影响,并介绍了残余应力的起源、产生机制以及控制.
MEMS薄膜中的残余应力问题
【摘 要】
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在制造微电子机械系统(MEMS)的器件的过程中,通常要进行高温的薄膜淀积或生长,因此薄膜中存在的残余应力很多情况下影响着器件结构的特性,有时甚至严重劣化器件的性能.本文以
【机 构】
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西安交通大学电信学院真空微电子所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2003年10期
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