氘退火对SiO2／Si（100）界面陷阱的影响以及超薄膜SiO2的电子自旋共振

来源 :发光快报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：justoka

【作者】

：

邸建华

【出处】

：

发光快报

【发表日期】

：

1993年6期

【关键词】

：

二氧化硅电子自旋共振氘退火

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