论文部分内容阅读
本文就甚高频（ＶＨＦ）带材料处理考虑了射频（ｒｆ）发生器和等离子体之间阻抗匹配的方法，与在低频例如１３．５６ＭＨｚ情况下的传统方法不同，在这种方法中，采用一根传输线和两个可变电容器，并避免使用电感器，传输线长度和电容的范围给以图示并列出公式，以便用电子计算机容易计算，推导了匹配器的效率，其中包括网络元件的损耗，ＥＣＲ等离子体的实验证明，理论推导在实验误差内是正确的，频率直到１９０ＭＨｚ时该方法都是