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2008年7月份，在TFT—LCD制品Array生产中，ArrayTester检查发现，DrainLayer成膜前洗净设备与DataLineOpen（D断）存在设备间的差异。经确认，此类D断存在共同特征即缺失处形状类似刷毛。文章旨在对此现象进行验证，以进行有效对策。
WCW003刷毛状异物D断调查及对策
【摘 要】
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2008年7月份，在TFT—LCD制品Array生产中，ArrayTester检查发现，DrainLayer成膜前洗净设备与DataLineOpen（D断）存在设备间的差异。经确认，此类D断存在共同特征即缺失处形状类似刷毛
【机 构】
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上海交通大学电子信息与电气工程学院,上海广电NEC液晶显示器有限公司
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2010年2期
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