【摘 要】
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利用固相激光诱导化学沉积技术在聚酰亚胺（PI）基板上实现了金的无掩模局部沉积，也研究了该沉积镀层的形态和组成．研究表明，在激光作用下，产生了热分解的反应，高温反应使镀层和基体发
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利用固相激光诱导化学沉积技术在聚酰亚胺（PI）基板上实现了金的无掩模局部沉积，也研究了该沉积镀层的形态和组成．研究表明，在激光作用下，产生了热分解的反应，高温反应使镀层和基体发生了“熔合”，且由此形成的金线电阻率低，选择性好。
Solid-state laser-induced chemical deposition technique was used to realize the gold maskless local deposition on the polyimide (PI) substrate. The morphology and composition of the deposited coating were also studied. The research shows that under the action of laser, thermal decomposition reaction occurs, and the high temperature reaction causes “fusion” between the coating and the substrate, and the gold wire formed therefrom has low resistivity and good selectivity.
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