论文部分内容阅读
采用无机试剂（ＳｎＣｌ４．５Ｈ２Ｏ）为原料，用溶胶－凝胶（Ｓｏｌ－Ｇｅｌ）法制备研制气敏传感的ＳｎＯ２薄膜，研究了ＳｎＯ２薄膜的电阻随掺杂和温度的变化关系，并且用ＸＲＤ对ＳｎＯ２薄膜进行分析，结果表明，掺杂和热处理温度对薄膜晶粒尺寸的大小、薄膜的结构形态均有较大的影响，进而影响薄膜的电导及传感器的灵敏度。