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本文介绍了双敏感膜、复合悬浮栅(Hybrid Suspended Gate即HSG)FET型臭氧传感器的结构与制作.重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对O-3敏感性的影响，并对所得实验结果进行了分析比较.
HSGFET型臭氧传感器室温下对纳诺量级O3的检测
【摘 要】
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本文介绍了双敏感膜、复合悬浮栅(Hybrid Suspended Gate即HSG)FET型臭氧传感器的结构与制作.重点研究了敏感膜和结构不同的传感器对O-3敏感性的影响，并对所得实验结果进行了
【机 构】
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南开大学电子科学系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2001年1期
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