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研究了基于Au和Ag两种分离材料,环氧复制和电镀Ni后再环氧复制的基底复制技术.采用直流磁控溅射技术在不同工艺的复制基底上镀制Mo/Si多层膜反射镜,利用反射率计测量其反射率.测量结果表明：电镀Ni后再环氧复制的Au基底反射率最高.
基底复制技术研究
【摘 要】
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研究了基于Au和Ag两种分离材料,环氧复制和电镀Ni后再环氧复制的基底复制技术.采用直流磁控溅射技术在不同工艺的复制基底上镀制Mo/Si多层膜反射镜,利用反射率计测量其反射率
【机 构】
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上海工程技术大学基础教学学院
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2014年5期
【基金项目】
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2011年上海高校青年教师培养资助计划（No.shgcjs029）
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