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碱溶性感光树脂的结构与性能的研究
碱溶性感光树脂的结构与性能的研究
来源 :辐射研究与辐射工艺学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dyqxcici
【摘 要】
:
合成了3种类型、4种配比、5种不同结构的碱溶性感光树脂,研究了碱溶性和光固化速度。随着树脂与马来酸酐配比增大,树脂的碱溶性变好,光固化速度变快,当配比大于1:0.7时,树脂具有良好
【作 者】
:
宋广杰
吴慧
金养智
【机 构】
:
北京化工大学材料科学与工程学院!北京,100029,北京化工大学材料科学与工程学院!北京,100029,北京化工大学材料科学与工程学院!北京,100029
【出 处】
:
辐射研究与辐射工艺学报
【发表日期】
:
1999年04期
【关键词】
:
环氧丙烯酸树脂
碱溶性
光成像
抗蚀剂
UV固化材料
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合成了3种类型、4种配比、5种不同结构的碱溶性感光树脂,研究了碱溶性和光固化速度。随着树脂与马来酸酐配比增大,树脂的碱溶性变好,光固化速度变快,当配比大于1:0.7时,树脂具有良好的碱显影性能。用酚醛环氧丙烯酸型碱溶性树脂制备光成像抗蚀油墨,具有较佳的碱显影性能。
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