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利用平行马赫探针和单探针对金刚石镀膜装置中的等离子体漂移速度、，离子密度及电子温度进行了测量，采用ＣｈｕｎｇＫｙｕ－Ｓｕｎ理论对平行马赫探针数据进行分析得到的马赫数为０．２８，电子温度为５ｅＶ，等离子体流速约为９８０ｍ．ｓ＾－１。单探针测行离子密度在１０＾１８～１０＾２０ｍ＾－３的范围内，电子温度在２－８ｅＶ的范围内。