【摘 要】
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本文在林德哈德投影射程理论(LSS理论)的基础上,考虑了离子注入的同时产生的扩散效应,给出了离子注入晶体中的杂质浓度分布为高斯函数和余误差函数。从而定性地解释了杂质浓
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本文在林德哈德投影射程理论(LSS理论)的基础上,考虑了离子注入的同时产生的扩散效应,给出了离子注入晶体中的杂质浓度分布为高斯函数和余误差函数。从而定性地解释了杂质浓度分布实验曲线比LSS理论曲线多出的“尾巴”。
Based on the Lindsey projection range theory (LSS theory), we consider the simultaneous diffusion effect generated by ion implantation, and give the Gaussian function and the residual error function for the impurity concentration distribution in ion implanted crystals. Which qualitatively explains the “tail” of the experimental curve of impurity concentration distribution more than the LSS theoretical curve.
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