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论述了某厂2×104t/a三氯氢硅的提纯技术改造,并利用化工过程模拟软件Aspen Plus模拟了数据与现场数据对比,结果表明,改造后三氯氢硅中的硼的含量和精馏系统的尾气排放量得到了大幅度的降低,三氯氢硅的纯度和收率均得到了有效的提高。
高纯三氯氢硅精制技术改造
【摘 要】
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论述了某厂2×104t/a三氯氢硅的提纯技术改造,并利用化工过程模拟软件Aspen Plus模拟了数据与现场数据对比,结果表明,改造后三氯氢硅中的硼的含量和精馏系统的尾气排放量得到
【机 构】
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实华（天津）石油化工工程有限公司
【出 处】
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化学工业与工程
【发表日期】
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2009年06期
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