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综述了微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD:Microwave Plasma Chenical Vapor Deposi-tion)新技术在人工合成金刚石方面的最新工作;阐述了人工合成金刚石的历史、金刚石的分类和类金刚石;着重介绍了微波等离子体系统的一种实验装置、原理及沉积金刚石的机理。
MWPCVD合成金刚石
【摘 要】
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综述了微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD:Microwave Plasma Chenical Vapor Deposi-tion)新技术在人工合成金刚石方面的最新工作;阐述了人工合成金刚石的历史、金刚石的分类
【机 构】
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电子科技大学高能电子学研究所,电子科技大学高能电子学研究所
【出 处】
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电子科技大学学报
【发表日期】
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1990年3期
【基金项目】
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校青年教师基金资助
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