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讨论了将PtSi红外探测器截止波长延长的理论基础 ,并介绍了采用在衬底掺入Tl+和Ir+,MBE生长P+层以及低能离子注入B+,In+来延长PtSi红外探测器截止波长的三种方法
PtSi红外探测器截止波长延长研究
【摘 要】
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讨论了将PtSi红外探测器截止波长延长的理论基础 ,并介绍了采用在衬底掺入Tl+和Ir+,MBE生长P+层以及低能离子注入B+,In+来延长PtSi红外探测器截止波长的三种方法
【机 构】
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重庆光电技术研究所,华北光电技术研究所,电子科技大学信息材料工程学院
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2001年02期
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