【摘 要】
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随着半导体行业的不断发展,对产品工艺的表现越来越关注,传统的针对量测站点的排货方法因为缺少对工艺控制因素的考虑变得亟待优化.本文提出了一种新的量测站点的排货方案,通
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（天津）有限公司
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随着半导体行业的不断发展,对产品工艺的表现越来越关注,传统的针对量测站点的排货方法因为缺少对工艺控制因素的考虑变得亟待优化.本文提出了一种新的量测站点的排货方案,通过引入排货分数的概念,将前层在制品数量、工艺表现、风险因素考虑其中,并搭建相应的排货框架,与传统排货方法相结合,能够有效减少工艺风险,提高工艺表现.
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