【摘 要】
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A J5960—A 型离子注入机注磷技术研究一、引言J5960-A 型离子注入机是4503厂早期生产的60keV 离子注入机,其生产厂家和用户至今都认为它只能作质量数在11以下的离子注入。
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A J5960—A 型离子注入机注磷技术研究一、引言J5960-A 型离子注入机是4503厂早期生产的60keV 离子注入机,其生产厂家和用户至今都认为它只能作质量数在11以下的离子注入。由于 B~+和 P~+都是常作为掺杂离子应用到半导体器件制造上。因而,如果设法对设备进行必要的改造,使它作磷掺杂注入,那将扩大该机的功能和应用范围,对科研和生产将起推动作用。
A J5960-A Ion Implanter Injection of phosphorus I. INTRODUCTION J5960-A ion implanter is 450ke early production of 60keV ion implanter, its manufacturers and users so far that it can only make the number of mass below 11 Ion implantation. Because B ~ + and P ~ + are often used as dopant ions in the manufacture of semiconductor devices. Therefore, any attempt to make the necessary modifications to the equipment to make it phosphorus-doped implants would broaden the function and application of the aircraft and would be a catalyst for research and production.
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