300mm×300mm口径电光开关等离子体电极实验研究

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cxz2004
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设计并实验了300mm×300mm口径的辉光放电室,利用钮扣阴极和自动预电离条形阴极进行实验,获得了大面积均匀的辉光放电。测量了不同状态下辉光放电的放电延时及等离子电阻。得到了产生大面积均匀辉光放电的最佳条件 The glow discharge chamber of 300mm × 300mm was designed and tested. The experiments were carried out by using the button cathode and the automatic pre-ionization strip-shaped cathode to obtain a large area uniform glow discharge. The discharge delay and plasma resistance of glow discharge were measured under different conditions. The best conditions for generating large area uniform glow discharge are obtained
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