高效节能新型阳光控制膜玻璃的膜系研究

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为了改进大面积磁控溅射阳光控制膜玻璃的光学和热学性能,对建立在干扰效应原理上的新型膜系进行了研究和试验。新型阳光控制玻璃之膜系设计为“玻璃∥TiN∥SnO2∥TiN。TiN膜在此膜系中起着重要作用,为此对TiN膜进行了研究,结果为:在溅射室中,富氮气氛对膜系光学均匀性最为有益。
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