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四极质谱计是一种很有用的残气分析工具, 一般情况下它只能分析残气成分, 本文给出通过四极质谱谱图对比定性分析残气成分的实例.
用四极质谱计定性分析残气成分的变化
【摘 要】
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四极质谱计是一种很有用的残气分析工具, 一般情况下它只能分析残气成分, 本文给出通过四极质谱谱图对比定性分析残气成分的实例.
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2003年5期
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