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介绍了一种高精度，高分辨率的超精密气浮式电容传感器。该系统将具有方形导轨的气浮测头和超小型电容传感器结合在一起，既保证了测头的高分辨率，又体现了电容传感器的高精度，高频响的特点，是一种较好的用于超精密接触测量的测量系统。
超精密气浮式电容传感器系统
【摘 要】
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介绍了一种高精度，高分辨率的超精密气浮式电容传感器。该系统将具有方形导轨的气浮测头和超小型电容传感器结合在一起，既保证了测头的高分辨率，又体现了电容传感器的高精度，高频
【机 构】
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国防科技大学机械电子工程与仪器系
【出 处】
：
国防科技大学学报
【发表日期】
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1999年5期
【基金项目】
：
国家部委项目资助
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