并五苯场效应晶体管的研制

来源 :第六届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bo0316

【摘要】

：

以X射线衍射仪(XRD)研究了在硅表面形成并五苯多晶薄膜晶体结构,通过原子力显微镜(AFM)分析了在二氧化硅表面形成并五苯多晶薄膜的形貌.以热氧化的硅片作为绝缘栅极,并五苯作为有缘层,采用底接触结构,研制场效应晶体管.经过测试得到其场效应迁移率为1.23cm/Vs,开关电流比＞106.

【作者】

：

陶春兰董茂军张旭辉张福甲

【机构】

：

兰州大学,物理科学与技术学院微电子研究所,甘肃,兰州,730000

【出处】

：

第六届中国功能材料及其应用学术会议

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

并五苯多晶薄膜二氧化硅场效应晶体管 X射线衍射仪迁移率绝缘栅极

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