双离子束同时注入用于材料表面改性

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在研制的双源离子注入机上,把钛离子和氮离子同时注入工业铝、45#钢、CCr12钢、GCr15钢。摩擦学实验表明,上面四种材料经钛离子和氮离子同时注入后,动态 有不同程度的降低。AES和XRD分析表明经钛、氮双离子同时注入时,工业铝表层生成了Ti、Ti3Al,Ti3Al,TiAl,AlN,铁基样品表面层生成了TiN,FeTi,Fe2N,Fe3N,ε-Fe2-3,r-Fe4n等金属化合物或硬质合金相。
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