四氯化硅水解制纳米二氧化硅粉体工艺研究

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多晶硅合成过程中副产大量四氯化硅。以四氯化硅为硅源,通过水解反应成功合成了二氧化硅粉体。探讨了反应温度、四氯化硅的加料速度、四氯化硅和水的加料比、循环比等条件对二氧化硅比表面积的影响,并利用X射线粉末衍射仪、傅里叶红外光谱仪、比表面测定仪和粒度分析仪等测试工具对所制备的二氧化硅的结构、粒径等参数进行了表征。实验结果表明:在温度为50℃,四氯化硅的加料速度为2.0umin,加料比Ira(四氯化硅):m(水)]为O.10~0.15.循环比为10h-1,的条件下,可制得满足橡胶补强剂要求的二氧化硅粉体。
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