【摘 要】
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3．2日本所选择的微细机器的研究方向微细加工通常主要用于制造微细传感器和微细推进器这些以硅作为基体材料的设备。然而，在技术上需要有先进的CAD／CAMI艺来制造不是由金属、陶
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3．2日本所选择的微细机器的研究方向微细加工通常主要用于制造微细传感器和微细推进器这些以硅作为基体材料的设备。然而，在技术上需要有先进的CAD／CAMI艺来制造不是由金属、陶瓷和其他材料所构成的机械结构。微细加工、微细安装和微细检测等的工艺知识需要研究，以便决定微
3.2 Japan’s Choice of Micro-Machines Research direction Micro-machining is usually used mainly for the manufacture of devices such as fine sensors and fine thrusters that use silicon as a base material. However, technically advanced CAD / CAM technology is needed to make mechanical structures that are not made of metals, ceramics, and other materials. Technological knowledge of microfabrication, microfabrication and microfabrication needs research to determine micro
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