【摘 要】
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射频集成电路晶圆级S参数测试是射频器件制作过程中重要的工艺环节，该测试技术依赖微波探针测试系统，微波探针测试系统由矢量网络分析仪、探针、精密运动工作台、承片卡盘、机器视觉系统、测试电缆等组成。其中矢量网络分析仪是探针测试系统的测量工具，其测量精度和程控效率直接决定了该系统在片测量的准确度和工作效率。对矢量网络分析仪的工作原理、S参数物理意义、校准工艺、测量工艺做了详细地介绍，并给出了矢量网络分析仪
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射频集成电路晶圆级S参数测试是射频器件制作过程中重要的工艺环节，该测试技术依赖微波探针测试系统，微波探针测试系统由矢量网络分析仪、探针、精密运动工作台、承片卡盘、机器视觉系统、测试电缆等组成。其中矢量网络分析仪是探针测试系统的测量工具，其测量精度和程控效率直接决定了该系统在片测量的准确度和工作效率。对矢量网络分析仪的工作原理、S参数物理意义、校准工艺、测量工艺做了详细地介绍，并给出了矢量网络分析仪上位机程控方法。
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