气氛及压强对红外测温的影响

• 作 者: 杨超普 方文卿
• 机 构: 商洛学院化学工程与现代材料学院/陕西尾矿资源综合利用重点实验室,陕西商洛,726000南昌大学国家硅基LED工程技术研究中心,江西南昌,330047
• 出 处: 商洛学院学报
• 发表日期: 2015年4期
• 关键词: MOCVD 红外辐射测温 在线监测

利用自主搭建的可径向移动的940 nm单波长红外辐射测温仪，研究了Thomas Swan CCS MOCVD第二次Bake过程中，反应室在不同气氛（氢气、氮气以及氢氮混合气体）和不同压强（13.33-53.33 kPa）下径向温度分布。试验结果表明：压强为13.33 kPa，MOCVD反应室内的气氛不同时，红外测温结果主要受气体导热系数的影响；在20 L氢气下，反应室内压强越大温度越高；在压强为13.33 kPa，H2流量的不同对测温影响不大。该研究结果可为MOCVD反应室的红外辐射测温与精确控温提供参考。