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微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。
微型机电系统的进展
【摘 要】
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微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1996年S1期
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