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本文简述了气相法生长金刚石薄膜的基本过程,论述了反应气体系统及碳源浓度、激活源、基片温度和预处理等参数对金刚石结构和性能的重要影响.
气相法生长金刚石薄膜过程和热解CVD实验
【摘 要】
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本文简述了气相法生长金刚石薄膜的基本过程,论述了反应气体系统及碳源浓度、激活源、基片温度和预处理等参数对金刚石结构和性能的重要影响.
【机 构】
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上海交通大学应用化学系、理化中心,上海交通大学应用化学系、理化中心
【出 处】
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上海交通大学学报
【发表日期】
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1990年2期
【基金项目】
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国家高技术和上海市自然科学基金资助课题
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