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在ZrO2基片上采用对靶偏轴CD磁控溅射外延生长高温超导YBaCuO薄膜,利用多层光刻工艺与Ar^+铣相结合的混合刻蚀工艺刻蚀薄膜得到微桥样品。液氮温度下,测试薄膜微桥样品的特性,观测到一系列有趣的实验现象:测得这种样品的临界电流IC与温度T的经验关系为IC∞(1-T.TC)^N,其中N在2-3.5之间,比常见报道的Josephson结的N值要大。