用氦离子化检测器检测高纯氧中微量杂质的含量

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本实验采用氦离子化检测器,对其气路进行改进,增加脱氧柱,对高纯氧中微量杂质含量的检测方法进行了研究。在本实验条件下,解决了高纯氧中的Ar,N2,Kr,CH4等四种杂质含量的检测,其灵敏度和精密度均能满足要求,高纯氧中的H2,CO,CO2等三种杂质含量的检测方法也简略也作了说明。
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