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利用同步辐射光电子能谱（ＳＲ－ＸＰＳ）原位研究了经３ｋｅＶＯ２＾＋溅射的ＳＵＳ３０４不锈钢中Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ合金元素与氧离子的化学反应活性差异及三种金属元素间的相互作用规律，经低能氧离子溅射后，不锈钢表面形成了一薄层氧化物膜，元素Ｃｒ和Ｎ分别以Ｃｒ２Ｏ３和ＮｉＯ形式存在；铁元素的氧化产物随氧离子溅射量的增加分别以ＦｅＯ、ＦｅＯ和Ｆｅ２Ｏ３共存、全部生成Ｆｅ２Ｏ３的形式存在，在ＳＵＳ３０４不锈钢钢中