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应用非线性分析有限元程序ＡＤＩＮＡ的微机板，计算了超硬膜膜基体系内应力的分布规律，发现了沉积薄膜后，界面附近的底材内应力呈“礼帽”形分布，而膜层内应力呈局部的凹凸面；提出了超硬膜膜基体系的失效的两种可能性：薄膜脆性破裂或底材屈服后导致的整体失效。最后应用冲磨实验对相同膜厚的膜基体系在相同载荷下进行了研究，二者结果相当吻合，为进一步研究膜基体系的综合承载能力提供了参考。