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【摘 要】
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本金属有机物化学汽相淀积过程中，反应器中的回流现象严重影响生长的界面陡峭性。本文从关于ＭＯＣＶＤ的流体力学基本方程出发，用二维有很差分和流涵数涡量法求解方程，取得了不同条件下气
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所,西北工业大学,中国科学院微电子中心研究部
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1994年4期
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