(AlCrTiZrNb)N/Al_(2)O_(3)纳米多层膜的微观结构和力学性能研究

• 作 者: 陈立强 李伟 刘平 何代华 张柯 马凤仓 刘新宽 陈小红
• 机 构: 上海理工大学材料科学与工程学院
• 出 处: 有色金属材料与工程
• 发表日期: 2021年1期
• 关键词: (AlCrTiZrNb)N/Al_(2)O_(3)纳米多层膜 磁控溅射 力学性能 (AlCrTiZrNb)N/Al_(2)O_(3)nano-multilaye
• 基金项目: 国家自然科学基金资助项目(51471110)

在单晶硅片基底上采用反应磁控溅射技术交替溅射AlCrTiZrNb靶与Al_(2)O_(3)靶,制备了不同厚度Al_(2)O_(3)层的(AlCrTiZrNb)N/Al_(2)O_(3)纳米多层膜。采用X射线衍射仪(X-ray diffraction,XRD),高分辨率透射电子显微镜(high resolution transmission electron microscopes,HRTEM),扫描电子显微镜(scanning electron microscope,SEM)以及纳米压痕测试仪对(AlCr