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利用SiO升华的反应蒸发技术制备了SiyOx薄膜，并将它成功地应用于半硬冷光膜。讨论了真空度、蒸镀速率及后期处理工艺对SiyOx薄膜折射率的影响。
SiyOx薄膜的制备方法与应用研究
【摘 要】
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利用SiO升华的反应蒸发技术制备了SiyOx薄膜，并将它成功地应用于半硬冷光膜。讨论了真空度、蒸镀速率及后期处理工艺对SiyOx薄膜折射率的影响。
【机 构】
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四川大学光电科学技术系,国营成都灯泡厂
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1994年5期
【基金项目】
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国家轻工业科学技术发展基金
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