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一种降低半导体激光器接触电阻的有效方法
一种降低半导体激光器接触电阻的有效方法
来源 :光学精密机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tianaiguo
【摘 要】
:
区域接触的好坏,对高功率半导体激光器至关重要。降低接触电阻,有利于降低阈值,提高效率和延长寿命。为此,我们做了大量的实验,找到了降低区域接触电阻的最佳工艺条件,获得了小于0.06欧
【作 者】
:
王玉霞
任大翠
【机 构】
:
长春光机学院重点实验室
【出 处】
:
光学精密机械
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
欧姆接触
接触电阻
半导体激光器
工艺
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区域接触的好坏,对高功率半导体激光器至关重要。降低接触电阻,有利于降低阈值,提高效率和延长寿命。为此,我们做了大量的实验,找到了降低区域接触电阻的最佳工艺条件,获得了小于0.06欧姆的最低电阻。
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