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本文提出了一种数值积分方法，通过这种方法结合热激发场效应电导法可以推导薄膜晶体管的多晶硅材料禁带中的态密度，根据这种方法。我们研究了氢等离子本处理对多 硅薄膜晶体管木材禁态密度的影响。
一种确定多晶硅薄膜禁带中态密度的数值积分方法
【摘 要】
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本文提出了一种数值积分方法，通过这种方法结合热激发场效应电导法可以推导薄膜晶体管的多晶硅材料禁带中的态密度，根据这种方法。我们研究了氢等离子本处理对多 硅薄膜晶体管
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1999年1期
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